Keithley 自動化檢定ACS軟件

用于特性分析的靈活編程方式

ACS的特點是腳本編輯器，這是一個獨立的工具，帶有圖形用戶界面，用于開發Python代碼和TSP®腳本，進行儀表控制、數據分析和系統自動化操作。其提供創建和開發 GUI 設計以及管理用戶庫和模塊的直觀方法。

Keithley 自動化檢定ACS軟件自動化數據收集過程

ACS的晶圓探針自動化選項使您能夠輕松將各種常用的半自動或全自動晶片探針臺連接到測試設置中，從而可以快速捕獲大量數據。此選項包括晶片描述實用程序、具有晶片評等功能的實時晶片圖、暗盒樣品計劃實用程序以及測試后暗盒和晶片查看實用程序。ACS 內置的許多工具和功能都可以增強設備的自動檢定能力

Keithley 自動化檢定ACS軟件

分享測試項目和結果

ACS提供了一組通用的關鍵元素，可以跨多種硬件配置工作，從而減少了時間并提高了生產率。系統從一個硬件到另一個硬件實現的執行是一致的，因此，例如，很容易將用于單設備組件表征的基礎ACS系統的你的測試結果轉移到另一個設計用于晶圓級測試的系統。

Keithley 自動化檢定ACS軟件*大限度地提高 Keithley 硬件的生產率

ACS中的工具簡化了測試開發流程，*大限度地提高了與系統相連的每個Keithley儀器的速度。ACS 和 Keithley 基礎TSP的硬件一起提供了超高的吞吐量，從而降低了測試成本，不需要您在獲得實現目標所需的數據之前花時間學習新的編程概念或語言。

Keithley 自動化檢定ACS軟件支持的儀器

注：

1. ITM 支持 24xx TTI 儀器、26xx 儀器和混合用例。
2. 用戶可以通過 STM 腳本控制任何 TSP 儀器。現有 ACS STM 庫支持每個庫定義的特定儀器。
3. 用戶可以通過 PTM 腳本控制任何儀器。現有的 ACS PTM 庫支持每個庫定義的特定儀器。

從實驗室到晶圓廠的應用

ACS基礎版集成測試系統是參數化揀選、高功率半導體器件檢定和晶片級可靠性測試等應用的完整解決方案。當配合適合的半自動和全自動探針臺，它們的硬件配置和測試項目開發可以很容易地針對特定的任務進行優化。

使用 Keithley 高功率系統 SMU 儀器和 ACS 基礎版軟件測試功率半導體設備的應用指南

ACS 多站點并行測試集成測試系統應用指南

提高可靠性吞吐量

可靠性測試可提高質量、降低故障率、確保高產量并增加信心。ACS 軟件支持用于高容量可靠性測試的 Shared Stress 方法，加快了測試時間。 

使用 ACS 進行 Shared Stress 可靠性測試應用指南

使用增量模式進行超低電阻測量

2182A/622X 組合非常適合許多納米技術應用，因為它測量電阻時可以不消耗被測器件 (DUT) 的太多功率，否則可能會導致結果無效，甚至損壞 DUT。使用 ACS 軟件執行增量模式測試，將這些敏感的測量結果整合到測試系統中。

Keithley 6200/2182A 系列超低電阻配置

Keithley 自動化檢定ACS軟件

用于GaN HEMT I-V 特性分析的電源時序

由于GaN HEMT的“常開”特性，在進行I-V特性分析時需要一個特定的電源時序。ACS軟件支持在不破壞器件本身的I-V特性的情況下，對器件的GaN HEMT特性進行電源時序測試。

GaN HEMT 檢定的電源時序應用指南

Keithley 自動化檢定ACS軟件半導體工作流程解決方案

服務于半導體工作流程中的應用

ACS Basic Edition 和 ACS Standard Edition 軟件在整個半導體工作流程中均用于對半導體器件進行廣泛的測試，以獲得詳細的檢定。整合 ACS Basic 和 ACS Standard 的測試系統可提供：

• 在設備、晶圓和暗盒級進行測試
• 靈活的配置、軟件和應用程序定制
• 交互式和自動化系統操作
• GUI 和腳本工具的強大組合，用于測試模塊開發
• 
  

開發階段

ACS Basic Edition 軟件*適用于組件和分立（封裝）半導體器件的參數測試。該軟件運用以下特點，*大限度地提高了技術人員與工程師在研發方面的生產力：

• 專為封裝器件（MOSFET、BJT、IGBT、二極管、電阻器等）設計
• 豐富的測試庫，無需編程即可快速輕松地完成測試設置和執行
• 內置數據分析工具，可快速分析參數數據
• 支持 Keithley 2600B 系列、2400 系列、2651A 系列和 2657A 系列系統 SourceMeter SMU 儀器

集成階段

集成階段使用 ACS Standard Edition 軟件進行半自動晶圓測試，包括穩定的過程開發和晶圓級可靠性 (WLR)。該軟件可用于 SMU-per-pin 系統級測試。ACS WLR 軟件提供以下好處：

• 全自動功能，可測試單個晶圓或整個暗盒
• 可實現靈活的測試設置和并行測試的軟件
• 可靠性測試模塊 (RTM) 符合 JEDEC 標準測試方法
• 支持創建定制的測試模塊/程序

生產階段

ACS 標準版軟件還適用于完全集成的機架式自動定制測試系統，用于過程控制監控 (PCM)、晶圓驗收測試 (WAT) 和晶粒挑揀。ACS Standard 軟件中內置的許多工具和功能可增強 設備的自動檢定能力：

• 晶圓和暗盒級自動化
• 將設備和測試映射到站點和子站點的測試圖
• 交互式探針臺控制模式
• 單個或每個晶圓的吉時利數據文件 (KDF) 和/或 CSV 文件

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